|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА |  |
Номер публикации патента: 2242821 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/317 H01J037/34 C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | RU 2107971 C1, 27.03.1998. RU 2032766 C1, 10.04.1995. RU 94022474 А, 10.04.1996. DE 19749690 А, 20.05.1998. US 5865970 А, 02.02.1999. |
| Имя заявителя: | Институт сильноточной электроники СО РАН (RU) | | Изобретатели: | Сочугов Н.С. (RU)
Соловьев А.А. (RU)
Захаров А.Н. (RU) | | Патентообладатели: | Институт сильноточной электроники СО РАН (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок металлов и их соединений на поверхность твердых тел. Предложенная магнетронная система содержит камеру, анод, катод-мишень и магнитный блок, содержащий магнитопровод и постоянные магниты.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента