|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2138094 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/317 C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | Данилин Б.С. и др. Магнетронные распылительные системы. - М.: Радио и связь, 1982, с.56. RU 94022474 A1, 15.06.96. RU 2012945 C1, 15.05.94. RU 2035789 C1, 20.05.95. US 5174825 A, 29.12.92. EP 0421015 A1, 10.04.91. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | | Изобретатели: | Ананьин П.С.
Асаинов О.Х.
Зубарев С.М.
Кривобоков В.П.
Кузьмин О.С. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете |
Реферат | |
Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для нанесения различных покрытий на поверхность диэлектрических материалов, преимущественно листовых, с большой площадью поверхности. В систему питания магнетронной растительной системы (МРС) введен блок сравнения средних значений мощности, а также скорости изменения тока и напряжения с опорными сигналами. Этот блок подключен выходом к прерывателю тока и, через линию задержки, к стартовому устройству запуска стабилизированного регулируемого источника напряжения. Техническим результатом является то, что система питания позволяет избежать в МРС перехода тлеющего разряда в дуговой и связанных с этим разрушений установки и покрытия. При использовании МРС с небольшой рабочей камерой для нанесения покрытий на листовые материалы большой площади выходную шлюзовую камеру целесообразно выполнять в виде глухого кармана. Для многокатодных МРС с протяженной рабочей камерой система напуска газа выполнена многоканальной через отдельные инжекционные отверстия, расстояние между которыми не превышает 100 см. Если в такой МРС рабочую камеру разделить диафрагмами на отдельные отсеки, а инжекционные отверстия в каждом отсеке соединить с отдельной системой напуска газа, то такая установка позволяет одновременно наносить многослойные покрытия. Для реализации функций ионной очистки во входной шлюзовой камере установлены электроды, подключенные к дополнительному источнику высокого напряжения. Источник высокого напряжения может быть выполнен импульсным. 5 з.п.ф-лы, 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента