Общество с ограниченной ответственностью "Макси-М" (RU)
Изобретатели:
Макеев Хасан Ильич (RU) Кибизов Руслан Васильевич (RU) Пинов Ахсарбек Борисович (RU) Тимербулатов Тимур Рафкатович (RU) Токарев Владимир Евгеньевич (RU) Дарковский Юрий Викторович (RU) Буряк Валерий Юрьевич (RU) Добровольский Герман Игоревич (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Макси-М" (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов для электронной техники, в частности кремния, методом Чохральского. Способ включает подачу рабочего газа в камеру с последующей эвакуацией сформированного газового потока с парогазовой смесью, образованной над расплавом, расположенным в тигле, при этом рабочий газ подают в камеру снизу под тигель, а парогазовую смесь эвакуируют сверху над тиглем, причем после подачи в камеру газовый поток направляют вдоль стенок тигля сквозь теплоизолирующий материал так, что газ разогревается от контакта с теплоизоляцией, увеличивается в объеме, что снижает его расход, отбирает часть тепла от теплоизоляции, снижая расход охлаждающей воды и электроэнергии, и, проходя над поверхностью расплава, увлекает вверх за собой парогазовую смесь. При этом также исключается воздействие агрессивной парогазовой смеси на элементы теплового узла, значительно увеличивая срок его службы. 1 ил., 3 пр.