|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА |  |
Номер публикации патента: 95106886 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95106886 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Всероссийский научно-исследовательский институт химической технологии | | Изобретатели: | Фадеев Л.Л.
Кварацхели Ю.К.
Жирков М.С.
Ивашин А.М.
Кудрявцев В.В.
Гришин А.В.
Филино |
Реферат | |
Использование: производство высокочистого поликристалличесного кремния, полупроводниковых структур методами газовой эпитаксии. Сущность изобретеиия: способ заключается во взаимодействии гидрида кальция с газообразным тетрафторидом кремния в солевом расплаве хлоридов лития и калия. Тетрафторид кремния используют в концентрации 50 - 100 об. %. Тетрафторид кремния разбавляют азотом. Вводят его в избытке 2 мас. % по отношению к стехиометрическому. Полученный моносилан подвергают дополнительной очистке адсорбцией. В качестве сорбента используют гранулированный фторид натрия. Очистку ведут в две стадии: при 130 - 140 и 250-280oС. Положительный эффект: чистота получаемого моносилана 99,998- 99,999%.
|
Поиск патентов