|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК ПУТЕМ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ |  |
Номер публикации патента: 95105170 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95105170 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Мурата Мануфакчуринг Ко., Лтд. (JP) | | Изобретатели: | Масару Фудзино[JP]
Хироси Такаги[JP] | | Номер конвенционной заявки: | 6-69402 | | Страна приоритета: | JP | | Патентный поверенный: | Матвеева Н.А. |
Реферат | |
Устройство для получения монокристаллических оксидных пленок путем жидкофазной эпитаксии включает изолирующую центральную трубу со средством внешнего высокочастотного индукционного нагрева, электропроводящий цилиндрический элемент конструкции с отверстиями на обоих концах, расположенный в центральной трубе, а также тигель, изготовленный из электропроводящего материала и коаксиально расположенный в цилиндрическом элементе конструкции.
|
Поиск патентов