На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ ОПТИМИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК НА ПОДЛОЖКИ

Номер публикации патента: 95104432

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95104432

Реферат

Изобретение относится к получению пленок на подложках, конкретнее к способам осаждения из газовой фазы, особенно к плазмохимическим методам осаждения, полупроводниковых, диэлектрических или проводящих пленок, различной кристаллической структуры - моно-, поли-, микрокристаллических или аморфных пленок, и может быть использовано для оптимизации параметров технологического процесса. Техническим результатом изобретения является ускорение процесса оптимизации технологических режимов получения пленок на подложках. Способ позволяет при ограниченном числе экспериментов в многомерном пространстве внешних регулируемых технологических параметров определить область параметров, обеспечивающую высокую скорость осаждения и оптимальные заданные параметры пленки с высокой однородностью по площади подложкодержателя. Сущность изобретения: в процессе газофазного осаждения пленок на подложки в газовую фазу вводят по крайней мере одну газообразную примесь-индикатор и периодически или ступенеобразно изменяют ее концентрацию при синхронном изменении одного из оптимизируемых технологических параметров процесса осаждения.

Вернуться к списку