|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| МАГНЕТРОН |  |
Номер публикации патента: 94039365 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94039365 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Объединенный институт ядерных исследований | | Изобретатели: | Балалыкин Н.И. |
Реферат | |
Предлагаемый магнетрон цилиндрического типа может найти применение в тонкопленочной технологии, которая используется в микроэлектронике, оптике, ускорительной технике, в машиностроении, авиационно-космической технике, в производстве товаров широкого потребления и др. Магнетрон состоит из разрядного узла, помещенного в вакуумную камеру, системы питания. Разрядный узел содержит анод (напыляемая подложка), охлаждаемый катод (распыляемая мишень) и магнитную систему из периодически повторяющихся элементов, состоящих из постоянных магнитов, собранных в определенной последовательности через шайбы-концентраторы магнитного поля и с полюсными наконечниками на концах каждого элемента. Предлагаемый магнетрон по сравнению с аналогичными имеет более высокую скорость распыления, что позволяет улучшить общие характеристики получаемых пленок и расширить технологические возможности. Предварительные испытания предлагаемого устройства показали увеличение его эффективности по сравнению с прототипом более чем в 6 раз. Имеется конструкторская документация на магнетрон.
|
Поиск патентов