|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНКИ КАРБИДА КРЕМНИЯ НА ПОДЛОЖКЕ |  |
Номер публикации патента: 94037368 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94037368 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Воронежский государственный университет | | Изобретатели: | Рубинштейн В.М.
Тригуб В.Б.
Суровцев И.С.
Петраков В.И.
Толоконников |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов и включает введение в плазму ВЧ газового разряда SiO2 и углеводородного соединения и размещение подложки в зоне конденсации паров SiC. Для повышения воспроизводимости относительного содержания SiC в пленке в плазму дополнительно вводят пары воды с расходом их по массе 10 - 30% от расхода углеводородного соединения.
|
Поиск патентов