На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 94029954

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94029954

Реферат

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке и изготовлении полупроводниковых высокочувствительных датчиков температуры. Датчик температуры содержит четыре, замкнутых в мостовую схему, резистора, два из которых выполнены в теле кристалла из легированного бором монокристаллического кремния, а два других выполнены из легированного бором поликристаллического кремния, расположенного на поверхности кристалла, причем пары резисторов имеют противоположные знаки температурных коэффициентов сопротивлений, а их абсолютные значения температурного коэффициента сопротивления одинаковы и находятся в диапазоне (0,3-1,0)·10^-2 град^-1. Способ изготовления датчика температуры предусматривает для формирования первой группы резисторов с положительным температурным коэффициентом сопротивления проведение в окна SiO₂ на пластине "n" типа проводимости ионного легирования бором с дозой 2-6 мккл/см², для формирования второй группы резисторов с отрицательным температурным коэффициентом сопротивления той же абсолютной величины, что и первая группа резисторов, - нанесение пленки поликристаллического кремния, ее легирование с дозой 20-50 мккл/см² и вытравливаниe в слое поликремния конфигурации терморезисторoв второй группы.

Вернуться к списку