|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 94026881 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94026881 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН | | Изобретатели: | Аргунова Т.С.
Белякова Е.И.
Грехов И.В.
Костина Л.С.
Кудрявцева Т.В. | | Патентный поверенный: | Белов В.И. |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых структур и может быть использовано для изготовления приборов сильноточной электроники и микроэлектроники методом прямого сращивания. Задачей заявляемого изобретения является разработка такого способа изготовления кремниевых структур, который обеспечивал бы улучшение качества получаемых структур за счет устранения эффекта прорастания дислокаций в объем изготавливаемой структуры. Указанная задача решается тем, что в способе изготовления кремниевых структур, заключающемся в полировке пластин, их гидрофилизации, обработке пластин в растворе плавиковой кислоты в деионизованной воде, соединении пластин отполированными сторонами в упомянутом растворе, сушке соединенных пластин на воздухе при 100-130°С в течение времени не менее 4 ч. при одновременном приложении давления величиной не менее 3 10-3 Па, последующем нагреве пластин со скоростью не более 10 град/мин, начиная с температуры 200oС до температуры не менее 1000oС и выдержке при указанной температуре. Новым в заявляемом способе является то, что перед гидрофилизацией на полированной поверхности пластин выполняют канавки глубиной не менее 0,3 мкм и расстоянием между границами канавок d , отвечающим следующему соотношению 20≅d≅1000 мкм.
|
Поиск патентов