|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ МЕТОДОМ СКАНИРУЮЩЕЙ ТУННЕЛЬНОЙ МИКРОСКОПИИ |  |
Номер публикации патента: 94025086 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94025086 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Товарищество с ограниченной ответственностью "Ориентир" | | Изобретатели: | Волков Ю.П.
Цуканов В.А.
Папаев В. |
Реферат | |
Избретение относится к методам исследования рельефа поверхности тверых тел посредством микрозондовых приборов, в частности сканирующим туннельным микроскопом. Цель изобретения - повышение достоверности и качества изображения поверхности исследуемого диэлектрика. Предложен способ исследования рельефа поверхности диэлектриков методом сканирующей тунельной микроскопии, включающий предварительное нанесение исследуемого материала на поверхность проводящей подложки, в качестве которой используют материал, имеющий работы выхода электронов, не превышающую энергию сродства к электроуы в исследуемом диэлектрике. В качестве материала подложки используют, в частности гексаборид лантана либо гексаборид иттрия.
|
Поиск патентов