|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 94024652 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94024652 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Вербицкий О.И. | | Изобретатели: | Вербицкий О.И. |
Реферат | |
Изобретение относится к области вакуумного осаждения тонких пленок на подложку из газовой фазы. Целью изобретения является снижение требований к вакууму в камере для осаждения покрытий на подложку при высоком требовании к чистоте материала покрытия, при значительных площадях. Это в конечном счете снижает стоимость самого покрытия. Эта цель достигается тем, что снижениe давления остаточных газов испарения материала от источника производят при взаимном перемещении системы источник - заслонка относительно подложки, при этом заслонка перекрывает приграничную зону потока испаряемого материала, в которой происходит поглощение остаточного газа, и при этом плотно прилегает к поверхности подложки.
|
Поиск патентов