|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| МАГНЕТРОННОЕ УСТРОЙСТВО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ НА ПОДЛОЖКУ И СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 94022474 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94022474 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Дзе Бок Груп, Инк. (US) | | Изобретатели: | Питер А. Сик[US]
Расселл Дж. Хилл[US]
Джон Л. Воссен[US]
Стефен К. Шульц[US] | | Номер конвенционной заявки: | 08/086.136 | | Страна приоритета: | US | | Патентный поверенный: | Матвеева Н.А. |
Реферат | |
Предложена удлиненная конструкция анода, имеющая множество остриев, к которым стекаются электроны. Анод может быть сконструирован из множества проволочных щеток, которые прикреплены к металлическому стержню. Использование анода в магнетронных системах значительно уменьшает нарастание диэлектрического материала и улучшает однородность пленок как при химически активном (реактивном) распылении постоянного тока, так и при нереактивном распылении. Кроме того, анод уменьшает перегрев и увеличивает время работы магнетронных систем, подвергаемых реактивному распылению диэлектрических материалов. В одном варианте осуществления магнетронная система имеет цилиндрический катод и пару удлиненных анодов, расположенных параллельно и на равном расстоянии от катода. Конструкция анода, в частности, пригодна для напыления однородных пленок диэлектрических материалов, включая диоксид кремния и нитрид кремния.
|
Поиск патентов