|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ЕМКОСТНОЙ АКСЕЛЕРОМЕТР И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 94019260 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94019260 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физических измерений | | Изобретатели: | Козин С.А.
Колганов В.Н.
Малкин Ю.М.
Папко А |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано при разработке и изготовлении малогабаритного полупроводникового емкостного акселерометра. Изобретение направлено на улучшение метрологических характеристик и упрощение технологии изготовления акселерометра. Сущность изобретения заключается в следующем. В емкостном акселерометре, содержащем выполненные из кремния и соединенные между собой через слой диэлектрика неподвижную плату и рамку с закрепленной на ней на гибких перемычках второй подвижной платой, установленной с зазором относительно подвижной, неподвижная плата по периферии в областях, противостоящих рамке, углублена, кроме участков в виде выступов, расположенных равномерно по периметру рамки, причем выступы покрыты пленкой диэлектрика, а суммарная площадь вершин выступов, соприкасающихся с рамкой, составляет не более 0,1 площади подвижной платы. В способе изготовления емкостного акселерометра, включающем формирование травлением на кремнии неподвижной платы и подвижной, закрепленной на гибких перемычках на рамке, и соединение неподвижной платы с рамкой через слой диэлектрика, при формировании неподвижной платы проводят окисление пластины кремния на глубину 0,5...1,5 мкм, напыляют слой алюминия толщиной 2,0...3,0 мкм, фотолитографией формируют из пленки алюминия участки, равномерно распололоженные по периметру платы, напыляют слой пленки меди толщиной 1,0 мкм с адгезионным подслоем ванадия, наносят фоторезист, формируют в нем окна, соответствующие участкам алюминия на периферии, и окно в центре, соответствующее размеру подвижной платы, электрическим способом увеличивают толщины меди в 10 раз, удаляют фоторезист, стравливают напыленные пленки меди и ванадия, стравливают пленку двуокиси кремния, травят кремний в растворе щелочи на глубину 0,3...0,5 исходной толщины пластины, формируя выступы, удаляют медь и ванадий в концентрированной азотной кислоте, разделяют пластину на отдельные платы, совмещают неподвижную плату и рамку с подвижной платой, помещая рамку на выступы, воздействуют давлением 1,5. ..2,0 кг/см2 и проводят термообработку при температуре 600°С в течение 60 мин. 2 с. п. ф-лы, 8 ил.
|
Поиск патентов