|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| МНОГОКАМЕРНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРОГРАФИИ |  |
Номер публикации патента: 94013202 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94013202 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Гарицын А.Г.[RU] | | Изобретатели: | Гарицын А.Г.[RU]
Дерновский В.И.[RU]
Юдицкий В.А.[B |
Реферат | |
Сущность изобретения: комплекс содержит три технологические камеры для изготовления интегральных схем с помощью лазерографии, содержит три технологические камеры для обработки полупроводниковых пластин с герметизирующимися затворами для загрузки пластин и столиками для их крепления в процессе обработки, а также подключенные к камерам газораспределительные и вакуумные системы, транспортную систему, расположенную в микроклиматической камере с системой обеспылевания, изолирующей транспортируемые пластины от загрязненной внешней среды, включающую робототизированные манипуляторы с системой датчиков для ориентации полупроводниковых пластин в необходимом положении, систему загрузки с устанавливаемым на нее герметизированным контейнером для транспортировки пластин, механическим интерфейсом.
|
Поиск патентов