На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С ПОМОЩЬЮ МНОГОКАМЕРНОГО ЛАЗЕРНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОМПЛЕКСА

Номер публикации патента: 94013201

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94013201

Реферат

Способ включает последовательность микроциклов, интегрирующих операции очистки поверхности пластин, формирование топологии рабочих областей и операции формирования микроструктур. Способ отличается тем, что включает три интегрированных микроцикла, реализуемых в трех технологических камерах. Микроциклы интегрируют операции напуска в камеру инертного газа с повышенным давлением относительно общего давления газовой среды в многокамерном комплексе, разгерметизации камеры, загрузки пластин, откачки внутреннего объема камеры до форвакуума, напуска атомарных газов, откачки атомарных газов, напуска активной газовой среды и операции формирования изображения топологии рабочих областей интегральной схемы и операции формирования микроструктур. При этом в первой технологической камере изображения топологии и микроструктуры формируются путем воздействия остросфокусированного сканирующего ультрафиолетового лазерного пучка в активной газовой среде, во второй технологической камере изображение топологии и микроструктуры формируется путем воздействия спроецированного ультрафиолетового лазерного потока в сочетании с процессами легирования, модифицирования, травления и нанесения слоев. В третьей камере формирование микроструктур осуществляется под воздействием равномерного колимированного потока ультрафиолетового излучения. Кроме этого, упомянутые интегрированные микроциклы включают операции откачки продуктов реакции и выгрузки пластин из технологической камеры.

Вернуться к списку