Изобретение относится к способу изготовления оксидной сверхпроводящей тонкой пленки для применения при изготовлении сверхпроводящего провода посредством процесса нанесения покрытия пиролизом с использованием бесфтористого металлоорганического соединения в качестве исходного материала. Перед термообработкой спеканием (S20) проводят промежуточную термообработку (S10) с разложением карбоната, содержащегося в тонкой пленке, которая должна быть подвергнута термообработке спеканием (S20) для кристаллизующей термообработки. Промежуточную термообработку (S10) проводят в атмосфере с концентрацией диоксида углерода, меньшей или равной 10 млн-1. Металлоорганическое соединение является металлоорганическим соединением, содержащим комплекс в-дикетона. Изобретение обеспечивает возможность получения пленки увеличенной по толщине при высокой плотности тока и с хорошей воспроизводимостью. 4 з.п. ф-лы, 9 ил., 2 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента