RU 2005295 C1, 30.12.1993. RU 2278447 C2, 20.06.2006. SU 1827532 A1, 15.07.1993. SU 1812455 A1, 30.04.1993. SU 1404852 A1, 23.06.1988. US 4236137 A, 25.11.1980.
Имя заявителя:
Федеральное государственное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический Центр" Московского государственного института электронной техники" (RU)
Изобретатели:
Данилова Наталья Леонтьевна (RU) Михайлов Юрий Александрович (RU) Игнатьева Елена Валерьевна (RU) Панков Владимир Валентинович (RU) Суханов Владимир Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический Центр" Московского государственного института электронной техники" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике. Сущность изобретения: интегральный преобразователь давления с одним жестким центром выполнен в виде монокристаллической кремниевой пластины, с первой стороны которой сформированы тензорезисторы и объединены электрическими связями в мост Уитстона, а со второй стороны монокристаллической кремниевой пластины выполнено углубление, не выходящее на край пластины, состоящее из двух параллельных канавок и двух его участков, соединяющих концы параллельных канавок между собой и имеющих с ними общее плоское дно, которое совместно с первой стороной пластины образует тонкую часть мембраны, окружающую один, полученный таким образом, жесткий центр, при этом на каждом прямолинейном тонком участке мембраны напротив дна соответствующей канавки размещены тензорезисторы двух плеч моста Уитстона, причем не менее 10% площади дна тонкой части мембраны расположены вне полосы, ограниченной двумя параллельными прямыми линиями, которые совмещены с внешними границами канавок, принадлежащими наружному контуру дна мембраны. Изобретение позволяет повысить эффективность преобразования давления в электрический сигнал при малых значениях механического воздействия и расширить функциональные возможности преобразователя. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента