RU 2362132 C1, 20.07.2009. RU 2362236 C1, 20.07.2009. US 6006607 A, 28.12.1999. US 6351996 B1, 05.03.2002. US 2008/0160659 A1, 03.07.2008.
Имя заявителя:
Федеральное государственное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический Центр" Московского государственного института электронной техники" (RU)
Изобретатели:
Данилова Наталья Леонтьевна (RU) Михайлов Юрий Александрович (RU) Игнатьева Елена Валерьевна (RU) Панков Владимир Валентинович (RU) Суханов Владимир Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический Центр" Московского государственного института электронной техники" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике. Сущность изобретения: интегральный преобразователь давления с тремя жесткими центрами выполнен в виде монокристаллической кремниевой пластины, с первой стороны которой сформированы тензорезисторы и объединены электрическими связями в мост Уитстона, а со второй стороны монокристаллической кремниевой пластины выполнено углубление, не выходящее на край пластины, состоящее из четырех параллельных канавок и двух его участков, соединяющих концы параллельных канавок между собой и имеющих с ними общее плоское дно, которое совместно с первой стороной пластины образует тонкую часть мембраны, окружающую полученные таким образом три жестких центра, при этом на каждом прямолинейном участке мембраны напротив дна соответствующей канавки размещен тензорезистор одного из плеч моста Уитстона, причем не менее 10% площади дна тонкой части мембраны расположено вне полосы, ограниченной двумя параллельными прямыми линиями, которые совмещены с внешними границами канавок, принадлежащими наружному контуру дна мембраны. Изобретение позволяет повысить эффективность преобразования давления в электрический сигнал при малых значениях механического воздействия, расширить функциональные возможности и снизить затраты на производство преобразователя. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента