Артамонов Л.Д. и др. Рентгеновские шаблоны для рентгенолитографии и LIGA-технологии. Отчет Сибирского международного центра синхротронного излучения за 1991-1992 г. Ин-т ядерной физики им. Будкера СО РАН. - Новосибирск, 1993, с.229-231. RU 2339067 C1, 20.11.2008. SU 1064352 А1, 30.12.1983. SU 864383 А1, 15.09.1981. JP 2005175406 А, 30.06.2005. US 7608367 В1, 27.10.2009.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)
Изобретатели:
Генцелев Александр Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)
Реферат
Использование: для изготовления рентгенолитографических шаблонов. Сущность заключается в том, что при изготовлении рентгенолитографического шаблона осуществляют процессы формирования резистивной маски на рабочей поверхности исходной электропроводящей (или содержащей электропроводящие слои) подложки, процессы электроосаждения металлического рентгенопоглощающего слоя, при этом исходную подложку выполняют состоящей из двух деталей, выполненных из разных материалов: опорного кольца и внутреннего диска, который полностью удаляется селективным травлением на последних этапах изготовления шаблона. Технический результат: повышение контрастности и рентгенопрозрачности рентгенолитографического шаблона. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента