US 6601888 B2, 05.08.2003. US 6808216 В2, 26.10.2004. ЕР 1271623 B1, 02.01.2003. US 4852926 А, 01.08.1989. SU 257628 А, 17.12.1970.
Имя заявителя:
ЙОНАС УНД РЕДМАНН АУТОМАЦИОНСТЕХНИК ГМБХ (DE)
Изобретатели:
ЙОНАС Штефан (DE) РЕДМАНН Лутц (DE)
Патентообладатели:
ЙОНАС УНД РЕДМАНН АУТОМАЦИОНСТЕХНИК ГМБХ (DE)
Приоритетные данные:
31.05.2007 DE 202007007721.1
Реферат
Изобретение относится к захвату, в частности захвату Бернулли, для приема плоскостных элементов, например, кремниевых полупроводниковых пластин, с обеспечением низкой нагрузки на них. Захват содержит зажимное кольцо, соединенное с управляемой рукой робота, соединенную с зажимным кольцом ударную шайбу с захватной поверхностью, сообщающейся с поточной системой, посредством которой после подачи на захват Бернулли избыточного давления у захватной поверхности ударной шайбы создается разрежение для присоса захватываемой полупроводниковой пластины. Захват также содержит интегрированную в захватную поверхность прорезиненную установочную поверхность опорного кольца для осуществления бесскользящего перемещения полупроводниковой пластины, присосанной к захватной поверхности, и емкостной датчик для распознавания полупроводниковой пластины, присосанной к захватной поверхности. Для обеспечения исключительно щадящего в отношении удара контакта захватываемой полупроводниковой пластины с захватной поверхностью предусмотрено адаптированное по периметру амортизирующее устройство, создающее для захватываемой полупроводниковой пластины амортизирующее сопротивление. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента