US 7084661 B2, 01.08.2006. US 2001028460 A1, 11.10.2001. US 2006267622 A1, 30.11.2006.
Имя заявителя:
ИНТЕРНЭШНЛ БИЗНЕС МАШИНЗ КОРПОРЕЙШН (US), ДЗЕ БОРД ОФ РИДЖЕНТС ОФ ДЗЕ ЮНИВЕРСИТИ ОФ ОКЛАХОМА (US)
Изобретатели:
БАММ Ллойд (US) ДАХАНАЯКА Даминда (US) КАШУБА Филип В. (US) МОШКОВИЧ Леон (US) СЛИНКМАН Джеймс А. (US)
Патентообладатели:
ИНТЕРНЭШНЛ БИЗНЕС МАШИНЗ КОРПОРЕЙШН (US) ДЗЕ БОРД ОФ РИДЖЕНТС ОФ ДЗЕ ЮНИВЕРСИТИ ОФ ОКЛАХОМА (US)
Приоритетные данные:
29.02.2008 US 12/039,830
Реферат
Устройство содержит интегральное устройство, имеющее участок поверхности с местной работой выхода; сканирующий зонд, подвешенный над интегральным устройством; оптический контроллер, выполненный с возможностью обнаружения разности фотонапряжений между интегральным устройством и сканирующим зондом; детектор сканирующего зонда, способный измерять перемещения сканирующего зонда под влиянием разности фотонапряжений; и блок обработки, выполненный с возможностью обмена сигналами с детектором сканирующего зонда и вычисления уровня местного напряжения внутри интегрального устройства путем определения местной работы выхода на участке поверхности интегрального устройства, исходя из перемещений сканирующего зонда. Оптический контроллер имеет первый источник и второй источники светового излучения для изменения поверхностного фотонапряжения интегрального устройства, чтобы привести к локальному взаимодействию первого светового сигнала от первого источника светового излучения и второго светового сигнала от второго источника светового излучения соответственно с первым волновым вектором и вторым волновым вектором в интегральном устройстве. 3 н. и 21 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента