Быков Виктор Александрович (RU) Быков Андрей Викторович (RU) Котов Владимир Валерьевич (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к электротехнике, к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты и может быть использовано, например, в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) для сближения зонда и образца либо для перемещения образцов в установках электронного, ионного, зондового или иного воздействия. Инерционный шаговый двигатель включает основание с первым пьезомодулем, соединенным с держателем пьезомодуля, толкатель, направляющую, подвижную каретку и блок управления. Прижим установлен на основании. Держатель пьезомодуля имеет П-образную форму и закреплен на прижиме. Подвижная каретка установлена на направляющих на основании. Толкатель сопряжен с подвижной кареткой, закреплен на держателе пьезомодуля и может быть выполнен из твердого сплава, иметь форму пластины, либо цилиндра, либо шара. Держатель пьезомодуля может быть закреплен на прижиме с возможностью вращения относительно него. Прижим может содержать плоскую пружину и быть сопряженным с регулируемым упором. Первый пьезомодуль может иметь первую накладку, сопряженную с первым плечом П-образного держателя, либо вторую накладку, сопряженную со вторым плечом П-образного держателя. Подвижная каретка может быть снабжена поликором или керамической пластиной, сопряженной с толкателем. Может быть введен второй пьезомодуль между первым пьезомодулем и держателем пьезомодуля. Технический результат состоит в повышении стабильности работы и надежности устройства. 10 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента