RU 2310013 С2, 10.11.2007. RU 2287611 С2, 20.11.2006. US 20040094411 A1, 20.05.2004. US 7300559 B2, 27.11.2007.
Имя заявителя:
Башков Валерий Михайлович (RU), Беляева Анна Олеговна (RU), Додонов Александр Игоревич (RU)
Изобретатели:
Башков Валерий Михайлович (RU) Беляева Анна Олеговна (RU) Додонов Александр Игоревич (RU)
Патентообладатели:
Башков Валерий Михайлович (RU) Беляева Анна Олеговна (RU) Додонов Александр Игоревич (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии получения покрытий. Способ включает размещение подложки в вакуумной камере, ионное травление подложки и осаждение на подложку материала методом PVD в среде рабочего газа. Для осаждения используют не менее двух электродуговых источников плазмы с сепарацией потока, причем по крайней мере один из них снабжен катодом из тугоплавкого металла. При этом формируют импульсный газовый разряд в вакуумной камере и при осаждении материала перемещают подложку между источниками плазмы, а рабочий газ состоит из смеси химически активных и инертного газов. Устройство для реализации способа содержит вакуумную камеру с вертикальной осью, плазменный источник PVD, электрически проводящий держатель подложки, закрепленный на механизме перемещения, высоковольтный источник питания, соединенный одним полюсом с держателем, а другим - с корпусом вакуумной камеры, и систему подачи рабочего газа в вакуумную камеру. При этом в качестве плазменного источника PVD устройство содержит не менее двух электродуговых источников плазмы с сепарацией потока, установленных на боковых поверхностях вакуумной камеры и направленных на ее вертикальную ось. Механизм перемещения установлен с возможностью перемещения держателя подложки по окружности с осью, совпадающей с осью вакуумной камеры. Технический результат - повышение качества покрытий. 2 н. и 10 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента