US 7151209 B2, 19.12.2006. US 2010/0028613 A1, 04.02.2010. US 2009/0136413 A1, 28.05.2009. WO 2010/093932 A2, 19.08.2010. WO 2005/033001 A2, 14.04.2005. RU 2406689 C2, 20.12.2010. RU 2314252 C1, 10.01.2008.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет" "МИЭТ" (МИЭТ) (RU)
Изобретатели:
Гаврилов Сергей Александрович (RU) Громов Дмитрий Геннадьевич (RU) Дубков Сергей Владимирович (RU) Миронов Андрей Евгеньевич (RU) Шулятьев Алексей Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет" "МИЭТ" (МИЭТ) (RU)
Реферат
Применение: микро- и наноэлектроника, где упорядоченные наноструктуры могут использоваться в качестве эмиссионных катодов, штампов наноимпринтлитографии, калибраторов атомных силовых микроскопов, катализаторов для выращивания углеродных наноструктур и т.д. Сущность изобретения: в способе изготовления упорядоченных наноструктур, включающем формирование упорядоченно расположенных областей на поверхности основы или в ее приповерхностном слое, нанесение сплошного слоя, материал которого смачивает упорядоченно расположенные области и не смачивает основу, проведение термообработки, зависящей от толщины и температуры плавления материала сплошного слоя, до образования массива упорядоченно расположенных нанокластеров, после чего проводится травление основы, причем массив упорядоченных нанокластеров при этом является маской, или формируется углеродная наноструктура на массиве упорядоченно расположенных нанокластеров, причем они при этом являются катализатором. Техническим результатом изобретения является создание технологии получения упорядоченной структуры с высоким аспектным соотношением (высоты к ширине) элементов, что увеличивает эмиссионные свойства структуры, позволяет использовать ее в качестве штампа для наноимпринтлитографии, улучшает адгезию упорядоченно выращенных углеродных нанотрубок, из которых осуществляется эмиссия электронов, к нижележащему слою и, как следствие этого, увеличивает временную стабильность всего прибора. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента