Закрытое акционерное общество "Нанотехнология МДТ" (RU)
Изобретатели:
Быков Виктор Александрович (RU) Новак Виктор Рудольфович (RU) Романец Александр Александрович (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Нанотехнология МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к цифровой обработке изображений, полученных методами сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ-изображений). Техническим результатом является улучшение качества идентификации частиц и получение более полной и достоверной информации о геометрических характеристиках частиц, что приводит к повышению достоверности измерений распределений частиц по характерным параметрам. Разработан способ выделения локальных объектов (частиц) на цифровых изображениях поверхности, основанный на выделении локальных областей, содержащих частицы, и пороговой обработке этих областей с уровнями порога, определяемыми из заданного уровня относительной высоты (заданного значения относительного порога), для которого строятся границы горизонтальных сечений частиц. Способ позволяет выделять границы горизонтальных сечений частиц на заданном уровне относительной высоты, определять вертикальные характеристики частиц, а также латеральные характеристики частиц для заданного уровня относительной высоты, что позволяет повысить достоверность измерений распределений частиц по характерным параметрам (латеральным размерам, высоте, площади сечений, объему и т.д.). 4 з.п. ф-лы, 4 ил.