ЕР 1679532 A1, 12.07.2006. JP 2001023972 A, 26.01.2001. US 2004247010 A1, 09.12.2004. JP 2000121802 A, 28.04.2000. JP 2008256838 A, 23.10.2008. US 2008304155 A1, 11.12.2008.
Способ изготовления элемента, полученного с помощью микрообработки, содержит этапы, на которых: формируют слой резиста на штампе, экспонируют и проявляют слой резиста, сформированного на штампе, для формирования структуры в слое резиста; и помещают штамп, на котором выполнена структура в слое резиста, на электрод и выполняют травление штампа для формирования неровной формы на поверхности штампа, для получения элемента, полученного с помощью микрообработки. На поверхности электрода сформирована неровная форма так, что на этапе травления выполняют анизотропное травление в наклонном направлении относительно поверхности штампа. Устройство травления содержит резервуар для реакции травления и первый и второй электроды, расположенные с противоположных сторон в резервуаре. Первый электрод имеет поверхность размещения для размещения подложки, имеющую неровную форму поверхности, так что анизотропное травление осуществляется в наклонном направлении относительно поверхности подложки. Технический результат - обеспечение изготовления элемента, имеющего неровные структуры, наклоненные относительно нормали к поверхности подложки, по меньшей мере, в двух разных направлениях, или имеющего множество областей, в которых направления наклона структур могут быть разными. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 59 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента