

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РИСУНКА В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ СТЕКЛА

Номер публикации патента: 2456655

Вид документа:	C2
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2010114488/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	G03F007/16
Аналоги изобретения:	RU 2305918 C2, 10.09.2007. SU 1026564 A1, 15.02.1994. SU 1314881 A1, 15.11.1993. US 6426143 B1, 30.07.2002.

Имя заявителя:	Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" (RU)
Изобретатели:	Гудымович Елена Никифоровна (RU) Иванов Олег Сергеевич (RU)
Патентообладатели:	Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" (RU)

Реферат

Изобретение относится к области производства интегральных схем, основанной на переносе изображения фотолитографическим способом с использованием фотошаблонов. Согласно способу на очищенную поверхность стекла наносят светочувствительный слой позитивного фоторезиста. В указанном слое с помощью фотолитографии формируют окна размерами 5-10 мкм. Поверхность просушивают и наносят второй слой металлсодержащего полимера с соотношением компонентов (%) ПММА - 5,0; хлороформ - 93,4; Cu(CF₃COO)₂ - 1,6. Производят термический отжиг в электропечи в течение 3 часов при Т=600°С и удаляют продукты сгорания. Технический результат - простота изготовления и повышенная износоустойчивость. 1 табл., 3 ил.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"