RU 2192501 С2, 10.11.2002. RU 2164549 С2, 27.03.2001. RU 2368701 С2, 27.09.2009. GB 2323855 A, 07.10.1998. EP 834596 B1, 11.08.2004.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение Энергомаш имени академика В.П. Глушко" (RU)
Изобретатели:
Семенов Виктор Никонорович (RU) Голощапов Феликс Алексеевич (RU) Петров Валерий Павлович (RU) Хапланов Константин Павлович (RU) Ляпунов Геннадий Григорьевич (RU) Чванов Владимир Константинович (RU) Фатуев Игорь Юрьевич (RU) Мильченко Людмила Ивановна (RU) Додонов Александр Игоревич (RU) Герасимов Александр Алексеевич (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение Энергомаш имени академика В.П. Глушко" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий, и может быть использовано при нанесении покрытий на детали сложной конфигурации. Способ включает создание разности электрических потенциалов между деталью и катодом, очистку поверхности детали потоком ионов, снижение разности потенциалов, нанесение покрытия и проведение отжига покрытия путем повышения разности потенциалов. После отжига деталь охлаждают до комнатной температуры, помещают в печь и производят диффузионный отжиг в вакуумной среде. При этом ионный поток и поток испаряющегося материала, идущий от катода к детали, при очистке экранируют. Очистку проводят ионами инертного газа, после очистки экраны отводят и наносят покрытие при вращении детали вокруг своей оси. Причем очистку, нанесение покрытия и отжиг осуществляют за один цикл, а диффузионный отжиг покрытия осуществляют ступенчато при Т=100±5, 340±10, 730±10 и 900±50°С в вакууме 1·10-3 мм рт.ст. Технический результат - повышение производительности способа. 4 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента