RU 23005258 С2, 27.08.2007. US 5108193 A1, 28.04.1992. US 6631638 B2, 14.10.2003. ЕР 1329713 В1, 13.06.2007. RU 2291447 C2, 10.01.2007. RU 2086987 C1, 10.08.1997.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "МЭМС-РЕЗЕРВ" (RU)
Изобретатели:
Беспалов Владимир Александрович (RU) Дюжев Николай Алексеевич (RU) Зарубин Игорь Михайлович (RU) Рыгалин Дмитрий Борисович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "МЭМС-РЕЗЕРВ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано в процессе измерения параметров потоков жидкостей или газов. Предложен термоанемометр в микроэлектромеханическом (МЭМС) исполнении. Нагреватель и термодатчики заявленного термоанемометра сформированы на мембране, с обратной стороны которой выполнена герметизированная полость, заполненная материалом, коэффициент теплопроводности которого составляет менее 0,1 от коэффициента теплопроводности материала мембраны, или вакуумированная. Предложен также способ изготовления термоанемометра. Согласно данному способу на поверхности подложки формируют нагреватели и термодатчики. Мембрану формируют из материала подложки путем травления ее обратной стороны. Образовавшуюся в обратной стороне подложки полость герметизируют в среде или аргона, или криптона, или после заполнения полости твердым материалом. Технический результат: увеличение чувствительности, точности и пределов измерений. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента