JP 7185259 А, 25.07.1995. JP 61168518 А, 30.07.1986. JP 2001248821 А, 14.09.2001. US 2002/0025289 A1, 28.02.2002. SU 701672 A1, 05.12.1979.
Имя заявителя:
Федеральное Государственное Унитарное предприятие "Российский научный центр "Прикладная химия" (RU)
Изобретатели:
Барабанов Валерий Георгиевич (RU) Трукшин Игорь Георгиевич (RU) Мухортов Дмитрий Анатольевич (RU) Комаров Евгений Валерьевич (RU) Петров Валентин Борисович (RU) Камбур Павел Сергеевич (RU) Блинов Илья Андреевич (RU) Курапова Екатерина Сергеевна (RU)
Патентообладатели:
Федеральное Государственное Унитарное предприятие "Российский научный центр "Прикладная химия" (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам очистки отходящих газов от содержащегося в них силана SiH4. Способ включает взаимодействие силана с кислородом воздуха с образованием твердого диоксида кремния, с последующим отделением диоксида кремния фильтрацией. При этом отходящие газы, содержащие силан, смешивают с воздухом и подают на взаимодействие в реактор типа «туннельная горелка», снабженный рубашкой с теплоносителем. Время пребывания газа в реакторе от 1 до 10 сек, объемное соотношение силан:кислород от 1:2 до 1:10. Обеспечивается очистка отходящих газов от силана до его содержания не более 0,001 об.%, простота в аппаратурном оформлении и возможность обработки газа, содержащего силан в широком диапазоне концентраций. 2 з.п. ф-лы, 2 ил., 3 табл., 3 пр.
Поиск патентов
Получить полное описание патента