ЕР 0899773 А2, 03.03.1999. DE 4329155 A1, 02.03.1995. US 4673 A, 16.06.1987. US 5262028 A, 16.11.1993. RU 2106716 C1, 10.03.1998. RU 2196395 C1, 10.01.2003.
Изобретение относится к электродуговым источникам и может быть использовано для искрового напыления. Технический результат состоит в повышении коэффициента использования мишени и уменьшении образования брызг. Электродуговой источник содержит мишень (1), переднюю поверхность (2) мишени для вакуумного испарения материала мишени, заднюю сторону мишени с охлаждающей пластиной (4), центральную зону (Z) мишени и кромку мишени. Этот электродуговой источник содержит также магнитное приспособление (8, 9), содержащее внутреннюю магнитную систему (8) и/или наружную магнитную систему (9), для создания магнитного поля поблизости от передней поверхности мишени. При этом по меньшей мере одна из магнитных систем (8) поляризована радиально и приводит, в отдельности или в сочетании с соответствующей другой магнитной системой, к тому, что силовые линии магнитного поля проходят там по существу параллельно передней поверхности (2) мишени. 3 н. и 28 з.п. ф-лы, 27 ил., 2 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента