RU 2331870 C2, 20.08.2008. RU 2380684 C1, 27.01.2010. RU 54677 U1, 10.07.2006. RU 2007108635 A, 20.09.2008. SU 188028 A, 22.03.1967. US 4878114 A, 31.10.1989.
Имя заявителя:
Российская академия наук Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН (ИСОИ РАН) (RU)
Изобретатели:
Изотов Павел Юрьевич (RU) Глянько Марк Семенович (RU) Волков Алексей Васильевич (RU) Казанский Николай Львович (RU) Суханов Сергей Васильевич (RU)
Патентообладатели:
Российская академия наук Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН (ИСОИ РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к оптическому приборостроениию. Устройство позволяет контролировать качество поверхности подложек и может найти применение в оптическом приборостроении, например, для контроля качества подготовки поверхностей подложек интегрально-оптических устройств, лазерных зеркал и т.д. На подставке располагается исследуемая подложка. В верхней относительно подложки полуплоскости установлены два источника света, оснащенные рассеивающими фильтрами, так чтобы горизонтальные проекции осей этих источников были перпендикулярны. Под подложкой соосно с видеокамерой установлен третий источник света. Описанное расположение источников света повышает точность и производительность и позволяет измерять шероховатость большего числа видов подложек. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента