ТОМАШИК З.Ф. и др. Химическое взаимодействие монокристаллов ZnxCd1-xTe с водными растворами HNO3-HBr - молочная кислота. Конденсированные среды и межфазные границы. - 2008, т.10, 2, с.166-171. RU 2045108 C1, 27.09.1995. RU 2295798 C2, 20.03.2007. JP 2010080494 A, 08.04.2010.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" (RU)
Изобретатели:
Красников Геннадий Яковлевич (RU) Тадевосян Самвел Грантович (RU) Ранчин Сергей Олегович (RU) Сухоруков Дмитрий Олегович (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" (RU)
Реферат
Изобретение относится к проблемам химико-динамической полировки материала и может быть использовано для обработки металла, диэлектрика, полупроводника и их соединений. Способ включает помещение полируемой пластины в травящий химический раствор, причем полируемую пластину прикрепляют к вакуумному держателю нерабочей стороной, опускают в химический раствор рабочей стороной и вращают вокруг своей оси с одновременным равномерным движением по окружности. Технический результат: повышение равномерности химико-динамической полировки. 5 ил., 3 пр.
Поиск патентов
Получить полное описание патента