JP 1175274 A, 11.07.1989. RU 2002120302 A, 20.03.2004. RU 2368047 C1, 20.09.2009. US 2002041615 A1, 11.04.2002. EP 1929595 A2, 11.06.2008.
Имя заявителя:
Борисов Владимир Михайлович (RU), Виноходов Александр Юрьевич (RU), Христофоров Олег Борисович (RU)
Изобретатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Виноходов Александр Юрьевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Патентообладатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Виноходов Александр Юрьевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Реферат
Лазер, преимущественно эксимерный, содержит корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, высоковольтный и заземленный электроды. К электродам через газопроницаемые токопроводы подсоединены конденсаторы, расположенные в двух контейнерах, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя оси электродов. В систему формирования газового потока введены направляющие с цилиндрическими поверхностями, при этом образующие цилиндрических поверхностей параллельны оси корпуса, а их кромки примыкают к газопроницаемым токопроводам. Высоковольтный электрод расположен со стороны стенки корпуса. Контейнеры установлены по обе стороны высоковольтного электрода так, что их стенки, обращенные к разрядной области, образуют часть системы формирования газового потока в приэлектродной области между газопроницаемыми токопроводами и высоковольтным электродом. Один из электродов лазера выполнен частично прозрачным. Предыонизатор размещен со стороны нерабочей поверхности частично прозрачного электрода и выполнен в виде симметричной системы формирования скользящего разряда по поверхности плоской диэлектрической пластины, при этом корпус выполнен металлическим. Технический результат заключается в увеличении кпд, энергии генерации и средней мощности лазерного излучения при повышении надежности работы лазера. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента