JP 10053432 А, 24.02.1998. US 2003139277 A1, 24.07.2003. WO 03057633 A1, 17.07.2003. EP 1081106 A1, 07.03.2001. US 4956047 A, 11.09.1990. IRVINE R et al, Recent experiment in a silver lined autoclave [quartz growth], "42nd Annual Frequency Control Symposium", 1988, p.127-137.
Изобретение относится к технологии изготовления детали из искусственного кварца для применения в качестве оптического элемента для ArF-литографии, подлежащего облучению лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче. Деталь из искусственного кварца выращена гидротермальным синтезом и содержит алюминий в количестве 200 частей на миллиард (ppb) или менее и натрий в количестве 100 ppb или менее. Технический результат изобретения заключается в создании детали из искусственного кварца с подавленной способностью претерпевать снижение пропускания в области длин волн лазерного света, которое вызывается длительным облучением лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче, таким как ArF-эксимерный лазерный свет. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента