Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Выставки Бизнес Карта сайта
 
Банк
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


ДЕТАЛЬ ИЗ ИСКУССТВЕННОГО КВАРЦА, СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ВКЛЮЧАЮЩИЙ ЕЕ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ

Номер публикации патента: 2441840

Вид документа: C2 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2009101197/05 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C01B033/12   C30B007/10   C30B029/18   G02B001/00   C03B020/00    
Аналоги изобретения: JP 10053432 А, 24.02.1998. US 2003139277 A1, 24.07.2003. WO 03057633 A1, 17.07.2003. EP 1081106 A1, 07.03.2001. US 4956047 A, 11.09.1990. IRVINE R et al, Recent experiment in a silver lined autoclave [quartz growth], "42nd Annual Frequency Control Symposium", 1988, p.127-137. 

Имя заявителя: ТОКИО ДЕНПА КО., ЛТД. (JP),
АСАХИ ГЛАСС КО., ЛТД. (JP) 
Изобретатели: АГАТА Нориюки (JP)
КИКУГАВА Синя (JP)
СИМИЗУ Ютака (JP)
ЙОСИДА Казуми (JP)
НИСИМОТО Масатоси (JP) 
Патентообладатели: ТОКИО ДЕНПА КО., ЛТД. (JP)
АСАХИ ГЛАСС КО., ЛТД. (JP) 
Приоритетные данные: 16.06.2006 JP 2006-167890 

Реферат


Изобретение относится к технологии изготовления детали из искусственного кварца для применения в качестве оптического элемента для ArF-литографии, подлежащего облучению лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче. Деталь из искусственного кварца выращена гидротермальным синтезом и содержит алюминий в количестве 200 частей на миллиард (ppb) или менее и натрий в количестве 100 ppb или менее. Технический результат изобретения заключается в создании детали из искусственного кварца с подавленной способностью претерпевать снижение пропускания в области длин волн лазерного света, которое вызывается длительным облучением лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче, таким как ArF-эксимерный лазерный свет. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.
Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.222
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"