ЕР 2175231 A1, 14.04.2010. US 6754370 B1, 22.06.2004. WO 2006/031143 A1, 23.03.2006. RU 2185598 C1, 20.07.2002. EP 0630504 A1, 28.12.1994.
Имя заявителя:
Учреждение Российской Академии наук Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения РАН (ИТ СО РАН) (RU), Открытое акционерное общество "Институт оптико-электронных информационных технологий" (ОАО "ИОИТ") (RU)
Изобретатели:
Двойнишников Сергей Владимирович (RU) Меледин Владимир Генриевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской Академии наук Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения РАН (ИТ СО РАН) (RU) Открытое акционерное общество "Институт оптико-электронных информационных технологий" (ОАО "ИОИТ") (RU)
Реферат
Способ заключается в многократном формировании на поверхности контролируемого объекта зондирующей структурированной подсветки путем освещения поверхности контролируемого объекта пучком оптического излучения, каждый раз с управлением пространственной модуляцией интенсивности пучка оптического излучения и последовательной регистрации изображений искаженной рельефом поверхности контролируемого объекта структуры зондирующей подсветки. Определение высоты рельефа поверхности контролируемого объекта осуществляют по степени искажения изображения структуры зондирующей подсветки, а двух других координат - по положению искажений структуры подсветки в зарегистрированных изображениях. Для каждой точки на зарегистрированных изображениях определяют зависимость яркости точки на изображении от яркости зондирующей подсветки с помощью последовательного формирования равномерной пространственной модуляции оптического излучения и регистрации изображений, линейно меняя яркость источника. Полученную зависимость используют для определения степени искажения изображения структуры зондирующей подсветки при определении высоты рельефа поверхности. Технический результат заключается в повышении точности и достоверности контроля. 1 ил.