Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


РЕЗЕРВУАР ИСТОЧНИКА ДЛЯ VPE - РЕАКТОРА

Номер публикации патента: 2439215

Вид документа: C2 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2008149127/05 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C30B025/14   C23C016/455    
Аналоги изобретения: DD 146471 A1, 11.02.1981. JP 50000347 B, 08.01.1975. DE 10247921 A1, 22.04.2004. US 6270839 B1, 07.08.2001. 

Имя заявителя: АЙКСТРОН АГ (DE) 
Изобретатели: ФРАНКЕН Вальтер (DE)
КЕППЕЛЕР Йоханнес (DE) 
Патентообладатели: АЙКСТРОН АГ (DE) 
Приоритетные данные: 15.05.2006 DE 102006022534.1 

Реферат


Изобретение касается конструкции источника устройства для нанесения покрытия методом парофазной эпитаксии (VPE). Источник содержит резервуар 2, содержащий жидкий или твердый исходный материал 1 и имеющий по направлению вверх отверстие, подающую линию 3 для реактивного газа 4, который вступает в реакцию с исходным материалом 1 для образования содержащего исходный материал технологического газа 5, крышку 6, находящуюся непосредственно на исходном материале 1, причем крышка 6 образует между собой и поверхностью 7 исходного материала 1 объем 8 для прохождения реактивного газа 4 параллельно поверхности 7, в который входит подающая линия 3, и плавает на исходном материале 1 с помощью поплавков 9, выступающих снизу крышки 6, при этом поплавки 9 образованы полыми телами цилиндрической формы, открытыми по направлению вверх. Изобретение обеспечивает стабилизацию реакции в источнике по времени. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 10 ил.

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"