RU 1644553 C, 15.10.1994. RU 2308538 C1, 20.10.2007. RU 2087585 C1, 20.08.1997. RU 2265078 C1, 27.11.2005. WO 03076684 A, 18.09.2003. GB 724020 A, 16.02.1955. US 6196154 A, 06.03.2001. JP 2009161817 A, 23.07.2009. DE 102006028977 A1, 27.12.2007.
Имя заявителя:
Мирошникова Вера Дмитриевна (RU), Жданов Алексей Валерьевич (RU), Мирошникова Татьяна Дмитриевна (RU), Лизюков Евгений Васильевич (RU), Смолин Павел Викторович (RU)
Изобретатели:
Мирошникова Вера Дмитриевна (RU) Жданов Алексей Валерьевич (RU) Мирошникова Татьяна Дмитриевна (RU) Лизюков Евгений Васильевич (RU) Смолин Павел Викторович (RU)
Патентообладатели:
Мирошникова Вера Дмитриевна (RU) Жданов Алексей Валерьевич (RU) Мирошникова Татьяна Дмитриевна (RU) Лизюков Евгений Васильевич (RU) Смолин Павел Викторович (RU)
Реферат
Изобретение относится к подложкодержателю и установке для нанесения покрытий методом магнетронного распыления. Технический результат заключается в повышении производительности, гибкости, ресурсосбережения, удобства обслуживания и качества осаждаемого слоя. Подложкодержатель включает, по меньшей мере, один модуль, состоящий, по меньшей мере, из одной насадки с элементами фиксации подложек, соединенной с приводом и установленной с помощью державок на опоре с возможностью передачи подложек в одну из фиксированных позиций ожидания или обработки с размещением обрабатываемых поверхностей подложек по нормали к вектору потока распыляемого материала. Платформа установки выполнена в виде пустотелого кольцевого цилиндра, смонтированного с возможностью выполнения в автоматическом режиме циклических установочных перемещений подложкодержателей с механизмами их привода из одной позиции обработки в другую на угол =2/n, где n - количество позиций обработки. Внутри платформы под проемами оборудованы специальные площадки для размещения корпусов подложкодержателей с механизмами их перемещения и датчиками управления по времени. Площадки включают направляющие, жестко закрепленные снизу плоскости перекрытия по границам проемов в направлении от периферии к центру платформы, два упора. Стационарный упор смонтирован на внутреннем обводном каркасе платформы. Откидной упор смонтирован на внешнем обводном каркасе платформы на затворе. 2 з. и 8 з.п. ф-лы, 9 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента