RU 2091904 C1, 27.09.1997. SU 1814451 A1, 10.03.1996. US 5536364 A, 16.07.1996. US 2003/176073 A1, 18.09.2003. EP 1030353 A1, 23.08.2000.
Имя заявителя:
Абрамов Александр Владимирович (RU), Панкратова Елена Александровна (RU), Суровцев Игорь Степанович (RU)
Изобретатели:
Абрамов Александр Владимирович (RU) Панкратова Елена Александровна (RU) Суровцев Игорь Степанович (RU)
Патентообладатели:
Абрамов Александр Владимирович (RU) Панкратова Елена Александровна (RU) Суровцев Игорь Степанович (RU)
Реферат
Изобретение относится к области полупроводниковой электроники, в частности к технологии полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: способ локального плазмохимического травления материала предусматривает размещение материала между двумя электродами и образование электрического газового разряда в промежутке между первым электродом и обращенной к нему поверхностью материала, размещенного на втором электроде, приложением к электродам разности электрических потенциалов. Травление ведут при давлении газа, большем максимального его значения из тех возможных, для данного расстояния между утопленными элементами поверхности первого электрода и обрабатываемой поверхностью, при которых разряд не зажигается, но меньшем минимального его значения из тех возможных для данного расстояния между выступающими элементами поверхности первого электрода и поверхностью материала, при которых разряд зажигается у выступающих элементов поверхности первого электрода. Способ обеспечивает повышение разрешающей способности локального травления. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента