RU 2370558 C1, 20.10.2009. US 2007180953 A1, 09.08.2007. RU 2048977 C1, 27.11.1995. US 2002117025 A1, 29.08.2002. EP 0799905 A1, 08.10.1997. WO 9910548 A1, 04.03.1999. JP 6192874 A, 12.07.1994.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА РАН (ИФТТ РАН) (RU)
Изобретатели:
Сидоров Николай Сергеевич (RU) Пальниченко Андрей Вячеславович (RU) Штинов Евгений Дмитриевич (RU) Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА РАН (ИФТТ РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области металлургии цветных металлов, в частности к способу получения высокочистого кобальта для распыляемых мишеней. Способ включает восстановление хлорида кобальта водородом при нагревании до получения металлического кобальта в виде порошка или губки. После восстановления проводят прессование их в пруток и электронную вакуумную перекристаллизацию прутка до получения кристаллов высокочистого кобальта. Затем ведут электронный переплав полученных кристаллов в охлаждаемом кристаллизаторе с каждой стороны на всю глубину не менее двух раз для получения плоского слитка кобальта высокого структурного качества. При этом перед восстановлением хлорид кобальта подвергают зонной сублимации с пропусканием потока влажного аргона со скоростью 100 мл/мин навстречу перемещению зоны сублимации шириной 50 мм с длиной первоначальной засыпки хлорида кобальта 500 мм и со скоростью перемещения зоны сублимации 50 мм/ч в 10 проходов при температуре 940-960°С. После зонной сублимации отделяют 90-95% начальной части слитка хлорида кобальта и восстановлению подвергают отделенную часть слитка хлорида кобальта при температуре 750-780°С в течение 1 часа. Техническим результатом является повышение технологичности процесса при получении высокочистого кобальта, предназначенного для тонкопленочной металлизации магнетронным распылением мишеней.
Поиск патентов
Получить полное описание патента