RU 2346078 С2, 27.09.2008. RU 2361013 C1, 10.07.2009. RU 93399 U1, 27.04.2010. US 2009/113726 A1, 07.05.2009. JP 2009-197263 A, 03.09.2009.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский государственный технический университет" (RU)
Изобретатели:
Анциферов Владимир Никитович (RU) Каменева Анна Львовна (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский государственный технический университет" (RU)
Реферат
Изобретение относится к получению износостойких тугоплавких покрытий и может быть использовано в машиностроительной и добывающей промышленности, в инструментальном и ремонтном производствах для упрочнения поверхности инструмента и пар трения. На предварительно очищенную поверхность подложки наносят слои покрытия магнетронным распылением, причем сначала наносят адгезионный слой титана магнетронным распылением титановой мишени в среде инертного газа, затем наносят слой нитрида титана TiN распылением титановой мишени в газовой смеси инертного и реакционного газов, затем наносят чередующиеся слои двухкомпонентного нитрида циркония ZrN распылением циркониевой мишени в газовой смеси инертного и реакционного газов и циркония распылением циркониевой мишени в инертном газе, после чего наносят чередующиеся слои трехкомпонентного нитрида титана и циркония TiZrN одновременным распылением титановой и циркониевой мишеней в газовой смеси инертного и реакционного газов и циркония распылением циркониевой мишени в инертном газе. Взаимное расположение слоев в покрытии обеспечивает минимальные термические напряжения на границах слоев и наиболее благоприятно с точки зрения усталостной прочности материала покрытия при действии динамических теплосиловых нагрузок при работе в условиях повышенных температур. 2 з.п. ф-лы.