JP 3427499 В2, 14.07.2003. RU 47095 U1, 10.08.2005. US 4201473 А, 06.05.1980. US 2004109167 А1, 10.06.2004. US 6700656 B1, 02.03.2004.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "ДИФРАКЦИЯ" (RU)
Изобретатели:
Полещук Александр Григорьевич (RU) Маточкин Алексей Евгеньевич (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "ДИФРАКЦИЯ" (RU)
Реферат
Интерферометр для контроля формы оптических деталей содержит оптически связанные источник оптического излучения, светоделительный элемент, коллимирующий объектив, эталонный оптический элемент, контролируемую деталь, диафрагму, первый и второй проекционные объективы, первую и вторую видеокамеры. Видеокамеры электрически связаны хотя бы с одним блоком отображения изображения. Оптическая ось второго проекционного объектива и второй видеокамеры проходит через центр диафрагмы под углом к оптической оси, соединяющей центр диафрагмы и коллимирующий объектив. Внешняя по отношению к первой видеокамере плоскость диафрагмы оптически связана через второй проекционный объектив с плоскостью второй видеокамеры. Технический результат заключается в упрощении конструкции, уменьшении габаритов, уменьшении потерь оптического излучения и увеличении точности юстировки интерферометра. 10 з.п. ф-лы, 3 ил.