US 6261424 В1, 17.07.2001. RU 2136483 С1, 10.09.1999. RU 2336159 С2, 20.10.2008. US 5527596 А, 18.06.1996. WO 9412680 A1, 09.06.1994.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "СКИФ-М" (RU)
Изобретатели:
Москвитин Александр Александрович (RU) Маслов Анатолий Иванович (RU) Колпаков Александр Яковлевич (RU) Поплавский Александр Иосифович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "СКИФ-М" (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам формирования сверхтвердых аморфных углеродных покрытий в вакууме и может быть использовано для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, а также в качестве сигнального покрытия, используемого для анализа степени износа. Согласно способу подложку помещают в вакуумную камеру, которую затем вакуумируют, поверхность подложки обрабатывают ускоренными ионами, затем наносят слой материала, обеспечивающего адгезию последующих слоев. При помощи импульсного потока углеродной плазмы из множества катодных пятен с коэффициентом абляции графитового катода в пределах от 70 до 140 мкг/Кл формируют сверхтвердое углеродное покрытие. Температуру подложки поддерживают в пределах от 200 до 450 K путем регулировки частоты следования импульсов электродугового разряда. При этом указанную величину коэффициента абляции обеспечивают величиной заряда емкостного накопителя. При необходимости величину коэффициента абляции изменяют в процессе нанесения углеродного покрытия пределах от 70 до 140 мкг/Кл. Технический результат - увеличение плотности, микротвердости, электрического сопротивления и термостойкости покрытия, уменьшение его поглощения в оптическом диапазоне. 2 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента