Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО - И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ

Номер публикации патента: 2430343

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2010134282/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: G01L009/00   B82B001/00    
Аналоги изобретения: RU 2391641 C1, 10.06.2010. JP 2008116287 A, 22.05.2008. KR 20030064534 A, 02.08.2003. CN 101586992 A, 25.11.2009. WO 2004113858 A2, 29.12.2004. 

Имя заявителя: Белозубов Евгений Михайлович (RU),
Белозубова Нина Евгеньевна (RU),
Васильев Валерий Анатольевич (RU),
Савинова Юлия Алексеевна (RU) 
Изобретатели: Белозубов Евгений Михайлович (RU)
Белозубова Нина Евгеньевна (RU)
Васильев Валерий Анатольевич (RU)
Савинова Юлия Алексеевна (RU) 
Патентообладатели: Белозубов Евгений Михайлович (RU)
Белозубова Нина Евгеньевна (RU)
Васильев Валерий Анатольевич (RU)
Савинова Юлия Алексеевна (RU) 

Реферат


Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы относится к области измерительной техники и предназначен для измерения давления при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС), содержащий корпус, установленную в нем НиМЭМС, состоящую из упругого элемента - круглой мембраны, жестко заделанной по контуру, сформированной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, в которой образованы тензорезисторы, состоящие из идентичных тензоэлементов, соединенные тонкопленочными перемычками из низкоомного материала и включенные соответственно в противоположные плечи измерительного моста окружные и радиальные тензорезисторы, выполненные в виде соединенных тонкопленочными перемычками одинакового количества имеющих одинаковую форму тензоэлементов, расположенных по окружности на периферии мембраны, выводные проводники, соединяющие тензорезисторы с гермовыводами, отличающийся тем, что характеристики элементов конструкции датчика связаны , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , ; , связаны соответствующим соотношением. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности измерения в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений за счет уменьшения суммарной интегральной термоэдс путем оптимизации соотношений характеристик элементов конструкции. 4 ил.

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"