US 7234342 В2, 26.06.2007. US 5877497 А, 02.03.1999. US 2004/065821 А1, 08.04.2004. RU 2296387 C1, 27.03.2007. JP 11085965 A, 30.03.1999.
Имя заявителя:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Изобретатели:
Быков Виктор Александрович (RU) Быков Андрей Викторович (RU) Котов Владимир Валерьевич (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а именно к устройствам, обеспечивающим управление сканирующими зондовыми микроскопами. Блок управления для сканирующих зондовых микроскопов, включающих вибрационный зондовый датчик, вертикальный привод для взаимного перемещения датчика и образца перпендикулярно плоскости сканирования и измерительный преобразователь сигналов от вибрационного зондового датчика, содержит первую цепь обратной связи, включающую цифровой процессор сигналов, связывающий выход измерительного преобразователя сигналов от вибрационного зондового датчика и вертикальный привод, программируемую вентильную матрицу, запрограммированную для выполнения прямого цифрового синтеза переменного сигнала с первой частотой, блок USB для связи с компьютером, средства обработки сигнала от измерительного преобразователя сигналов от вибрационного зондового датчика с использованием сдвоенного фазового синхронного смесителя и сигнала с первой частотой и НЧ фильтров. Сдвоенный фазовый синхронный смеситель выполнен автономным и аналоговым с последующей оцифровкой. НЧ фильтрация является цифровой и выполняется с помощью цифрового процессора сигналов. Перед блоком USB вставлен блок гальванической развязки. Технический результат - повышение точности отслеживания рельефа. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента