US 7005964 B2, 28.02.2006. RU 2105993 C1, 27.02.1998. RU 235098 C2, 27.03.2009. RU 2296950 C2, 10.04.2007. CN 101644772 A, 10.02.2010. WO 2005033719 A1, 14.04.2008. WO 2006028974 A, 16.03.2006.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Авангард" (RU)
Изобретатели:
Калинин Владимир Анатольевич (RU) Плесский Виктор Петрович (RU) Шубарев Валерий Анатольевич (RU) Мельников Владимир Александрович (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Авангард" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для дистанционного измерения физических величин. Технический результат: снижение погрешности измерений, повышение чувствительности датчика и дальности считывания от него, упрощение конструкции устройства, повышение технологичности его изготовления и надежности работы. Сущность: датчик содержит расположенные на подложке 1 из пьезоэлектрического материала встречно штыревой преобразователь (ВШП) 2 и две структуры металлических отражателей 3 и 4 для поверхностных акустических волн (ПАВ). Первая структура отражателей предусмотрена в качестве опорного элемента, вторая - в качестве чувствительного элемента. Отражатели 3 ПАВ первой структуры и отражатели 4 ПАВ второй структуры выполнены с различными чувствительностями к измеряемой величине. ВШП 2 выполнен однонаправленным и расположен так, что направление распространения ПАВ от него происходит против естественной однонаправленности пьезоэлектрического материала подложки 1. Направление ПАВ от отражателей 3 и 4 совпадает с естественной однонаправленностью пьезоэлектрического материала подложки 1, при которой коэффициент анизотропии отраженной ПАВ 0. Отражатели 3 и 4 ПАВ выполнены по направлению распространения ПАВ симметричными и разделенными между собой минимально возможным электрическим зазором 5 или выполнены без зазора. Отражатели 4 второй ПАВ структуры по всей поверхности покрыты слоем материала 6, чувствительного к измеряемой величине. 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента