RU 2332528 C1, 27.08.2008. RU 2324015 C1, 10.05.2008. US 2007051637 A1, 08.03.2007. WO 2010022486 A1, 04.03.2010. CN 101235528 A, 06.08.2008.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ) (RU)
Изобретатели:
Белов Алексей Николаевич (RU) Гаврилов Сергей Александрович (RU) Шевяков Василий Иванович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электрохимических процессов, а конкретно к анодному окислению металлов и полупроводников. Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников включает плоский теплопроводящий держатель образца, выполненный из химически инертного материала, рабочий электрод, выполненный в виде полоскового металлического электрода, расположенного по периметру рабочей поверхности образца на его периферии, изолированно от электролита, образец, ванну с электролитом, контактирующим с образцом, вспомогательный электрод, расположенный в объеме электролита, устройство регулирования температуры в электрохимической ячейке, контактирующее с обратной поверхностью держателя образца, а к обратной поверхности держателя образца прикреплен генератор ультразвуковых колебаний. Технический результат: повышение воспроизводимости процесса формирования пористых анодных оксидов металлических и полупроводниковых образцов. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента