JP 11-213869 А, 06.08.1999. RU 2140113 C1, 20.10.1999. Nakamura N. «MgO film formation equipment for PDP using plasma gun». Electronic parts and materials. 2005. pp.208-212. JP 2002-129311 A, 09.05.2002.
Имя заявителя:
УЛВАК, ИНК. (JP)
Изобретатели:
ИИДЗИМА Эйити (JP) ХАКОМОРИ Мунето (JP)
Патентообладатели:
УЛВАК, ИНК. (JP)
Приоритетные данные:
27.10.2006 JP 2006-292962
Реферат
Изобретение относится к способам формирования защитного слоя при изготовлении плазменной индикаторной панели (PDP). При этом панель состоит из передней подложки, содержащей сканирующий электрод, поддерживающий электрод, диэлектрический слой и защитный слой, и задней подложки, содержащей адресный электрод, барьерные ребра и флуоресцентный материал, нанесенный на внутренние стенки канавок, образованных барьерными ребрами. Способ включает формирование пленки MgO, имеющей ориентацию (111), методом осаждения из паровой фазы со скоростью осаждения, составляющей 280 Å/с или более, и при температуре подложки, составляющей 120°С или менее. Технический результат - упрощение производственного процесса, возможность получения слоя MgO с ориентацией (111) за счет понижения температуры осаждения. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 24 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента